미국, ASML EUV 장비 중국 유입 의혹 제기...ASML 부인
원제: The US says ASML’s top chip tool may be in China. ASML says it isn’t
왜 중요한가
ASML은 AI 칩 제조의 핵심 공급자로서, EUV 기계의 중국 유입 여부는 미국의 첨단 기술 수출 통제 정책 실효성과 글로벌 반도체 산업 경쟁 구도에 중대한 영향을 미칠 수 있다.
미국 상무부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 최첨단 EUV 리소그래피 시스템이 중국으로 유입되었을 수 있다고 주장했다. ASML은 이를 강력히 부인하며 모든 기계를 추적 중이라고 밝혔다. 미국 관리들은 증거가 있다고 주장하지만 공개하지 않았다.
블룸버그 보도에 따르면 하워드 루트닉 미국 상무부 장관이 최근 ASML 경영진과의 회의에서 네덜란드 칩 제조업체의 극자외선(EUV) 리소그래피 기계가 중국으로 유입되었을 가능성을 표명했다. EUV 시스템은 세계 유일하게 최첨단 반도체 패턴 인쇄가 가능한 도구로, 첫 번째 트럼프 행정부 이후 ASML의 중국 수출이 금지되어 있다.
USA 행정부 관계자들은 ASML이 중국으로 EUV 관련 부품과 운송 장비를 적재했다는 증거가 있다고 주장했으나, 블룸버그나 ASML에 증거를 공개하기를 반복적으로 거부했다. 상무부는 중국 내 실제 EUV 시스템의 존재 여부에 대한 질문에 답하지 않았다.
ASML은 현재 시가총액이 약 7000억 달러 규모로 유럽에서 가장 가치 있는 상장 기업이며, 20년에 걸쳐 개발한 EUV 리소그래피 기술의 유일한 공급자다. TSMC의 모든 첨단 프로세서는 ASML 도구에 의존한다. 만약 EUV 기계 하나라도 중국으로 유입되었다면 미국이 구축한 수출 통제 체제의 가장 중대한 위반이 될 것이다.
ASML의 크리스토프 푸케 CEO는 회사가 납품한 모든 기계를 추적하고 있으며, 중국 직원들은 EUV 기술 접근이 제한되는 내부 방화벽 구조를 운영하고 있다고 밝혔다.