ASMLが最先端チップの独占供給者に
原題: ASML became the chokepoint for cutting-edge chips
なぜ重要か
半導体は現代で最も重要な技術であり、ASMLの独占的地位は世界の先端技術発展に大きな影響を与える
オランダの半導体装置メーカーASMLは、極端紫外線リソグラフィ技術への先行投資により、最先端チップ製造に不可欠な装置の世界唯一の供給者となった。同社の装置は2階建てバス大で、出荷に40個のコンテナと3機の貨物機、20台のトラックが必要な世界で最も複雑な機械である。
ASMLは現在、最先端半導体製造に必要な極端紫外線（EUV）リソグラフィ装置の世界唯一の供給者として、半導体産業のチョークポイントとなっている。同社の装置は30センチウェハーに数十億個のトランジスタを精密に刻印できる世界唯一の機械である。
装置は2階建てバス程度の大きさで、10万個以上の部品から構成される世界で最も複雑な物体とされる。1台の出荷には40個のコンテナ、3機の貨物機、20台のトラックが必要となる。すべての部品が完璧に調整されなければ、適切な波長で一貫した光を生成できない。
ASMLの成功の鍵は、フォトリソグラフィと呼ばれる技術にある。この技術は光を使って半導体ウェハーにパターンを転写する手法で、1950年代にベル研究所と米軍の科学者が独立して開発した。従来の手描き方式と違い、物理的接触なしに同一パターンを印刷できる。
製造プロセスでは、シリコンウェハーに感光性化学物質（フォトレジスト）をコーティングし、詳細なパターンを通して光を投射する。露光された部分が軟化し、洗浄後にエッチング装置で塩素やブロムガスを使って所望のパターンを彫刻する。
半導体製造業界は時間をかけてより小さな波長の光を使用するようになった。小さな波長は回折が少なく、より精密なパターンを可能にするためだ。